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洁净厂房空调系统特点

洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同，它首先对控制区的洁净度有很高要求。1洁净冷负荷计算夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。导体器件厂房内，在硅衬底上只要落有电路线宽1/10～1/3大小的尘埃，就可能导致芯片电路短路。如今，半导体集成电路的发展突飞猛进，近英特尔公司更是推出了采用32

nm线宽的处理器芯片，把生产环境的洁净度控制推向了。另外，洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外，还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。

同时，由于半导体器件生产工艺的特点，要求洁净厂房内全天（24h)保持相应的洁净度，目此，洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24

h运行，这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。

　(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大;

　　(2)净化工程室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层;

　　(3)自净时间(***时间)的控制要求：洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化，***到原来洁净度的自净时间决定于气流速度;对自净时间的控制要求取决于此时间框架内(恶化的洁净度下)，对产品生产的质量及成品率影响的承受能力;

　　(4)末级过滤器的效率：在一定的室内发尘量下，可采用较效率的过滤器以降低气流速度;为节能应考虑采用较效率的过滤器，并降低气流速度，或采用较低效率的过滤器并采用较高的气流速度，以求流量与阻力的乘积小。

人是净化间内主要尘源之一。目前国内知名装修设计公司施工中，对于无尘车间净化墙面装修材料主要有以下几种：1。尤其是工作人员在洁净环境中的活动，会明显地增加洁净环境的污染程度。因此，要获得生产环境所需要的空气洁净度等级，对净化间的人员活动进行控制，是有效的途径和措施。要把净化间各项规章制度真正落到实处，关键就是人员的日常管理，把人员净化管理作为首要控制要素，所以应该针对净化间进出人员进行各项培训。 （1）对新入职人员进行净化间洁净知识培训。

（2）对操作人员在净化间操作设备，搬运物料的专项培训。

（3）对所有进出净化间的人员进行衣着穿戴，进出制度的培训。

（4）对所有人员在净化间的日常行为规范的培训。