企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 浙江 杭州 |
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程经理 先生
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公司官网: | www.xy-cg.com |
公司地址: | 海宁市尖山新区听潮路11号 |
发布时间:2020-05-23 02:04:40
净化车间***主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,净化***室施工,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的***影响,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的***。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于***,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
净化工程施工技术交底方案
一、 现场用水用电
施工用水用电由业主提供,线管布置服从业主的总体安排。
二、 现场管理
施工区域内设专门堆放垃圾区域,净化***室哪家好,定期清理、清扫,保持现场整洁,卫生。现场临时的设置与管理严格按照有关规定执行。
净化工程施工
三、 设备安装施工
● 安装施工程序:
1基础验收
2设备验收
3设备安装找正
4设备找平找正
5设备清洗检查
6设备试车
● 设备安装要点
1设备的开箱检查:根据设备清单,说明书,合格证,检验记录和必要的装配图和有关型文件核对型号,规格以及全部零部件。表面检查无缺损和锈蚀情况
2设备的基础尺寸,位置等应符合图纸要求。
3平面位置安装基准线对基础实际轴线允许偏差不得超过图纸要求。
4安装时,设备的连接管口与其开口的地方的封闭不能拆掉,以免杂物进入到设备内部。
5检查设备不应有缺件,损坏和锈蚀现象。
6设备的单车试车
试车前,电的仪器及保护连锁应具备使用条件,水冷系统应符合要求。
试车中,***关键的是按照设计要求检查温度,压力,震动三个***主要的安装质量标准,单机试车中必须达到试车要求。
试车结束后应及时完成下列工作:断开动力电源,拆除试车的临时设备,整理试车运转记录。
洁净空调系统设计
3.1 洁净冷负荷计算
夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标:480W/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。
3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU DCU FFU的空调方式,净化***室价格,洁净房空调及气流***形式见图1。
其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),衢州净化***室,高段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。
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