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洁净厂房空调系统特点

洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同，它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内，在硅衬底上只要落有电路线宽1/10～1/3大小的尘埃，就可能导致芯片电路短路。防墙塑防墙塑在少数洁净房中曾经采用过，主要用于辅助用房和洁净通道等净化等级较低的部位。如今，半导体集成电路的发展突飞猛进，***近英特尔公司更是推出了采用32

nm线宽的***处理器芯片，把生产环境的洁净度控制推向了。另外，洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外，还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。

同时，由于半导体器件生产工艺的特点，要求洁净厂房内全天（24h)保持相应的洁净度，目此，洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24

h运行，这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。

风淋室、更衣室、净化间是车间净化系统的三个基本组成部分。风淋室是进出洁净区的通道，利用喷出的高速洁净气流，可以有效并且迅速地清除***所带的尘埃。净化间采用夹层彩钢板隔离空间以及墙壁，上部彩钢天花吊顶，地板用环氧树脂铺成。

无尘洁净车间工程***主要的作用是控制产品所接触的大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘净化车间。

按照无尘净化车间管理规定，无尘净化级别主要就是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子的数量来规定。但是对于光学构造来讲，一点点的灰尘都可能会产生非常大的***影响。因此在无尘净化车间管理规定中说明在光学构造产品的生产上，要求无尘净化车间无尘是必然的。所谓无尘车间的环境控制的内容应该包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或***和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。

浙江鑫源净化设备有限公司认为如果万级无尘室节能不采取新的措施——革新设计方法、研制新式节能设备、提高运行管理水平，则将无法满足消费者的要求，所以各公司对无尘车间的净化，无不从设计、运行管理、研究开发方面考虑各种手段、措施来减少能耗。

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