杭州净化***室公司服务至上 鑫源彩钢

对于净化厂房装修、洁净室设计、实验室装修设计等要求较高的场所，施工设计均会牵涉到净化空调系统。净化系统对风管、空调部件、设备等的洁净度和严密性要求较高，施工中，每一个施工工艺的质量必须达到净化空调的要求。同时还要加强施工全过程的质量控制，确保系统调试运行一次成功，顺利完成竣工验收工作。生产中洁净室内温度严格控制在18～26℃、相对湿度控制在45%～65%，以***有利于的生长条件，加之消毒液的清洁消毒，环境控制效果令人满意。

一、加工环境要求高，对风管的制作场地要求封闭、清洁、采光、照明好，制作现场应整洁，加工区域内应铺设表面无腐蚀、不产尘、不积尘的柔性材料。加工区域要经常打扫，及时清理垃圾，操作人员的制服、手套必须清洁，不许穿鞋踏上下料板材。

二、对材质进行检验。风管板材厚度应按设计工作压力并结合规范要求选用，所用材料必须有产品合格证明。镀锌钢板应为优质镀锌板，外观上无氧化物和***、麻点、起皮、白花、锌层粉化等缺陷。

洁净厂房空调系统特点

洁净厂房空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同，它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内，在硅衬底上只要落有电路线宽1/10～1/3大小的尘埃，就可能导致芯片电路短路。空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。如今，半导体集成电路的发展突飞猛进，***近英特尔公司更是推出了采用32

nm线宽的***处理器芯片，把生产环境的洁净度控制推向了。另外，洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外，还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。

同时，由于半导体器件生产工艺的特点，要求洁净厂房内全天（24h)保持相应的洁净度，目此，洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24

h运行，这也与其他空调系统极其不同。运行时间的增长也使其空调系统的节能更具有潜力和意义。

洁净空调系统设计

3.1 洁净冷负荷计算

夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标:480W/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。按照无尘净化车间管理规定，无尘净化级别主要就是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子的数量来规定。

3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU DCU FFU的空调方式,洁净房空调及气流***形式见图1。

其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。淋浴间内要通风良好，地面和墙裙应采用浅色，易清洁，耐腐蚀，不渗水的材料建造，地板要防滑，墙裙以上部分和顶面要涂刷防霉涂料，地面要排水通畅，通风良好，有冷热水供应。